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Mipox株式会社は有限会社ビジョンサイテック、国立研究開発法人産業技術総合研究所先進パワーエレクトロニクス研究センターと共同で開発したSiC結晶転位欠陥観察装置「XS-1(エクセス・ワン)」をリリース致します。

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XS-1の特徴SiCウェーハ等の内部に存在する結晶欠陥や内部歪みを高感度かつリアルタイムに可視化する装置です。ビジョンサイテック社独自の光学理論と位相差演算処理により、わずかな位相差を捉えることで、様...

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