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洗浄剤によるNiP基板の洗浄プロセス

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ニッケルメッキされたハードディスク基板は、CMP後による基板表面に数種類の異物(コンタミネーション)が残存しています。 異物とは、研磨スラリー残渣、研磨屑、環境やプロセス装置由来の有機物などが挙げられ...

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