観る➂ ウェーハの品質を決めるものは？

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ここ数年、パワー半導体デバイスが非常に大きな関心を集めております。その中でもSiCやGaNといった結晶材料が注目されており、ウェーハを作製するための高品質な結晶が求められています。さて簡単に“高品質な...

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