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観る④ 結晶転位高感度可視化装置XS-1

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前回の研磨ラボでは半導体材料の品質を決定する結晶中の欠陥=転位についてご説明いたしました。結晶中の転位を評価する手法は様々あるのですが、破壊検査であったり、放射光施設を用いる必要があったり、製造の現場...

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