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ウェーハ接合加工時に発生する「接合位置ずれ」について、エッジ修正加工の提案

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Mipox独自の「研磨フィルム式ウェーハエッジ研磨技術」について、接合用途への応用例を紹介致します。半導体製造技術における接合は、最近ではDRAMの更なる大容量化(高性能化)を目的に導入が進んでいるE...

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