2019/09/30 ウェーハ接合加工時に発生する「接合位置ずれ」について、エッジ修正加工の提案 技術レポート 研磨ラボ LINEで送る Tweet Mipox独自の「研磨フィルム式ウェーハエッジ研磨技術」について、接合用途への応用例を紹介致します。半導体製造技術における接合は、最近ではDRAMの更なる大容量化（高性能化）を目的に導入が進んでいるE... 続きはこちら LINEで送る Tweet
