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研磨ラボ

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ウェーハ接合プロセスに不可欠な平面加工

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近年、自動車の自動運転などに使用する微小センサーMEMSや、携帯電話に用いるSAWデバイスの需要が高まっています。これらのデバイスを製造する為に必要なプロセスの一つに、ウェーハ接合プロセスがあります。...

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