Mipoxは自社保有の各検査装置、測定装置を活用した「受託測定サービス」を提供しています。その中の一つ、白色干渉計（white-light interferometer（WLI））について説明します。
白色干渉計（WLI）の用途について
白色干渉計は、光の干渉を利用し、主には表面形状（粗さ、段差、うねりなど）や、波長、屈折率等を測定する事が可能な、非接触型3次元測定装置です。弊社Mipoxで扱う事が多い表面形状測定用途に限っては、弊社の他の測定装置と比較した場合、0.1～10.0mm等の広い視野で測定が可能であること、サブnm程度の高い垂直分解能を有する事（ダイナミックレンジが優れている事）、数秒で測定が可能（測定に要する時間が非常に短い）等、多くの特徴を有しています。
測定結果は、一般的に3D形状で出力されるため、直感的に表面形状を把握しやすく合理的であるため、表面形状測定用途には最も使用頻度が高い測定装置の一つです。 各種半導体ウェーハの表面粗さ測定用途を筆頭に、レンズ等の光学部品の研磨加工や、精密機械部品のラッピング加工における表面形状（平面度測定）、デバイスウェーハCMP加工時の段差測定用途など、幅広い用途に使用されています。
ただし、測定原理故、光をよく反射するミラー面（鏡面状態）の測定対象物が前提となります。曇りガラス状（ざらざら、なし地面）の表面を有する測定対象物には不向き、または測定不可となる場合があります。 加え、白色干渉計のデメリットとしては、高さ方向（Z方向）の優れた分解能と比べ左右方向（XY方向）の分解能が劣る事（レーザー顕微鏡（共焦点方式）対比で劣る事が一般的です）、振動に弱く装置の設置環境に左右される事、加え運用面で適切な干渉縞を得るための傾斜設定（ゴニオステージを用いた傾き調整作業）の手間等が挙げられます。それを理解した上で、適切な用途に用いることや、設置場所の養生などを行い、そのデメリットをカバーし安定運用する事が大変重要になります。
白色干渉計（WLI）の原理、機構について
白色干渉計は、大まかに「検出器（CCD等の検出部、カメラ）」「光源（白色、それ以外の単色光を用いる場合もあり）」「対物レンズ（干渉対物レンズ）」の比較的シンプルな光学系で構成されていることが一般的です。 光源から放たれた光は、特定の波長幅の光に制限させるための光学フィルター（バンドパスフィルター）を通過し、干渉対物レンズで2つの光に分けられます。
2つの光のうち、一つは光路途中に存在する特殊な鏡（ビームスプリッター）で反射、もう一方の光は測定対象物の表面に落射（反射）させ、再びその2つの光を束ねる（結像）事で干渉させます（干渉縞を発生させます）。検出器でそれを受光させ、その干渉縞を解析する事で、サンプル表面形状（粗さ、段差、うねりなど）を捉えます。
Mipoxの白色干渉計（WLI）について
弊社（Mipox）では、白色干渉計のコンディションを保った状態で運用を行い、各研磨材の開発や、受託研磨加工案件の品質保証に適用をしているほか、受託測定サービスも展開しております。 ZYGO社製 NewView7100を有し、対物レンズx2.5、x10、x50を用い、適切な測定ニーズにお応えします。
最後に
測定できないものは改善できないとよく言われる通り、各問題解決（ブレイクスルー）を果たすためには先ず観る事（正しく状態を把握する事）が不可欠です。弊社のコア技術、特に「磨く」については、各材料の表面性状を正しく把握する手段として、白色干渉計（WLI）は大変重要な位置づけです。当社が磨く技術等と共に培ってきた白色干渉計（WLI）測定技術（測定サービス）を是非ご利用ください。